氦质谱检漏与高压充注对设备的要求侧重不同。本文说明压力链的分段设计、储气缓冲、流量控制精度与纯度要求，以及材料密封选型、管路压损巡检与压力上限管理方面的注意事项。高压部件与储罐应按压力容器相关规定定期检验，安全附件保持有效状态。检漏工位的供···